제품자료실
확산펌프 공냉식확산펌프(DP2B,DP3B)
제품자료에 대한 설명
공냉식확산펌프(DP2B,DP3B)는 확산오일을 사용하여 일정진공도(0.05Torr)이하에서 가열하여 n단이상의 노즐을 통해 음속이하로 Body 외벽을 통해 분사함으로서 가스입자에게 운동에너지를 전달해 배기하는 방식으로서 소음이 전혀 …
공냉식확산펌프(DP2B,DP3B)는 확산오일을 사용하여 일정진공도(0.05Torr)이하에서 가열하여 n단이상의 노즐을 통해 음속이하로 Body 외벽을 통해 분사함으로서 가스입자에게 운동에너지를 전달해 배기하는 방식으로서 소음이 전혀 …
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