본 진공장비(진공시스템)는 HELIUM 가스와 진공을 이용하여 LEAK 부위를 검출하는 시스템으로 크게 헬륨감지장치, 보조진공펌핑장치, CHAMBER, 제어장치, 헬륨공급장치, 헬륨회수장치, WORK IN/OUT장치(자동제어시) 냉각장치, 각종 악세…