직결 베인형 오일 로타리 펌프
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MS 소형 Series
- - 배기량(60Hz) : 100~650ℓ/min
- - 도달진공도 : 5 x 10-4 Torr
MS 시리즈는 직결형 오일로터리 진공펌프이다. 펌프 구조는 아래 단면도에서 보는 바와 같이 펌프실린더 그리고 펌프보호를 위한 역류방지 밸브가 있으며 펌프 하우징과 실린더안에서 편…
MS 시리즈는 직결형 오일로터리 진공펌프이다. 펌프 구조는 아래 단면도에서 보는 바와 같이 펌프실린더 그리고 펌프보호를 위한 역류방지 밸브가 있으며 펌프 하우징과 실린더안에서 편…
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