대기압 기동형 부스터 펌프
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BM 소형 Series
- - 배기량(60Hz) : 100 ~ 600 m3/hr
- - 도달진공도 : 5 x 10-4 Torr
메카니컬부스터펌프(대기압 기동형BM Series:BM1A,BM3B,BM3A,BM6A)은 Casing 내에 있는 2개의 땅콩 모양의 Rotor가 Shaft에 고정되어 있는 Timing gear에 의해 서로 반대 방향으로 같은 주기로 회전하도록 하…
메카니컬부스터펌프(대기압 기동형BM Series:BM1A,BM3B,BM3A,BM6A)은 Casing 내에 있는 2개의 땅콩 모양의 Rotor가 Shaft에 고정되어 있는 Timing gear에 의해 서로 반대 방향으로 같은 주기로 회전하도록 하…
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