오일 로타리 진공펌프

• - 배기량(60Hz) : 830~2200ℓ/min
• - 도달진공도 : 5 x 10-4 Torr

MS 시리즈는 직결형 오일로터리 진공펌프이다.
펌프 구조는 아래 단면도에서 보는 바와 같이 펌프실린더 그리고
펌프보호를 위한 역류방지 밸브가 있으며 펌프 하우징과
실린더안에서 편심되어 있는 로터, 베인, 배기 밸브 등 그외 다수
구성품으로 구성되어 있다.
MS 시리즈 진공펌프의 작동원리는 실린더와 편심되어 있는 로터가
회전하면 흡입과 배기가 순차적으로 진행하도록 하는 원리이다.
모터의 회전 동력은 플렉시블 커플링에 의해 펌프로 전달되어
모터가 회전함에 따라 펌프도 회전한다.
로터가 회전하면 로터의 홈 안에 있는 두개의 베인이 원심력과
오일압력에 의해 실린더 내면에 슬라이딩하며 회전한다.
흡입구를 통과하여 흡입된 가스는 펌프 실린더 내로 유입된다.
회전 운동을 하고 있는 베인은 흡입구 관로를 지나가면 가스는
두개의 베인 사이에 갇혀서 배기구에 있는 배기밸브 방향으로 회전
되어 진다.
앞쪽의 베인이 배기구멍을 지나면서 가스는 압축되기 시작하여
충분히 압축된가스는 배기 밸브를 열고 배기구를 통하여 배기되며
실린더의 내면과 베인, 로터의 베인홈과 베인, 기타운동되는 부위에
윤활과 기밀유지를 위해 오일을 공급해준다.

• •오일역류 방지 밸브 장착
  펌프가 작동중에 예상치 못한 정전이나 모터 고장으로 갑자기 멈추었다가 재가동시
  펌프내의 오염으로 부터 진공설비를 완벽하게 보호하여 내구성을 좋게 하였다.
  •Oil Backflow prevention valve
  When the pump is suddenly stopped by a power failure or motor failure
  not unexpected during operation And restart From contamination inside
  the pump to fully protect the vacuum system has good durability.
  
  
  •ISO 규격의 Motor Flange 적용
  ISO 플랜지의 규격 모터를 사용하여 어느 곳에서나 그리고 누구나 모터 교체가 용이
  하도록 하였다.
  •ISO standards application(Motor Flange)
  According to using ISO standards motor application, anyone can shift
  and change the motor easily at anyplace and anytime.
  
  
  •ISO 규격의 흡입구 배기구 적용
  ISO 국제 규격에 맞는 "Quick Clamp"를 사용하여 짧은 시간내에 진공설비와 펌프를
  쉽게 장착 및 분리 할수있도록 하였다.
  •ISO standards application(Intake and Exhaust Ports)
  These pump us the standard ISO KF(quick clamp)fitting on both intake
  and exhaust ports th allow for quick connection and disconnection to
  vacuum system.
  
  
  •MS Series는 소음이 매우적다.
  이상적인 구조를 기반으로 설계하여 가동시에 발생되는 소음을 감소하였다.
  •MS Series, Small noise
  Ideally designed, we realized very small noise
  
  
  •취급이 간편하고 커플링측 점검이 용이하다.
  펌프측면에 커버를 설치하여 누구나 쉽게 커플링 측을 점검할수 있도록 하였다.
  •Handling is simple and easy to check coupling side.
  Install the cover on the pump side were anyone can easily check the
  coupling side.
  
  
  •오일 씰 교환이 용이하다.
  축(Shaft) 누유(leakage)에 대한 신뢰도가 높으며 점검이 용이하다.
  •The replacement about oil seal is easy.
  The trust of the shaft leakage is high, it is easy to check.