오일 로타리 진공펌프
- 직결 베인형 오일 로타리 펌프
직결 베인형 오일 로타리 펌프
진공펌프 2STAGE (MS220AD, MS370AD, MS500AD) 상세정보
- - 배기량(60Hz) : 3320 ~ 8000 ℓ/min
- - 도달진공도 : 1 Stage : 3 x 10-2 Torr
2 Stage : 5 x 10-4 Torr
오일로타리진공펌프(직결베인형 MS Series:MS220AD, MS370AD, MS500AD)는 유회전 베인 직결형 진공펌프이다.
사용범위는 실험실 및 산업체에서 모든 진공산업에 이르기까지 광범위하게 사용할 수 있게 설계하였다.
구조는 그림에서 보는바와 같이 펌프 하우징과 모터 오일케이스 내의 실린더에 편심되어 있는 로터, 앞, 뒷카바 등 펌프몸체와 각 부품으로 구성 되어있다.
원리는 펌프와 모터는 플렉시볼 커플링에 의해 연결되어 모터가 회전함에 따라 펌프도 회전한다.
흡입구와 흡입구 여과망을 통과한 흡입된 가스는 흡입구를 통과하여 펌프 실린더로 흡입된다.
회전운동을 하고있는 베인이 흡입구 관을 지나면서 가스는 두개의 베인사이에 갇혀 배기밸브 방향으로 회전한다.
앞쪽의 베인이 배기관을 지나면서 가스는 압축되기 시작하여 충분히 압축된 가스는 배기밸브를 열고 배기구를 통하여 배기된다. 실린더의 내면과 베인 모타의 베인홈과 베인 운동되는 부위에 윤활과 기밀유지를 위해 오일을 실린더에 공급해 준다.
- (1) 저소음 저진동
Valve Guide 형상을 기하학적으로 설계하여 소음이 매우 작다.
편심을 최소화해 직결구동을 실현함으로써 피스톤타입에 비해 진동이 적다.
(2) 베인에 스프링이 없다.
이것은 스프링 파손으로 펌프가 정지하는 것을 예방한다.
(3) 특별한 냉각시스템과 펌프 시스템의 윤활성
이 시스템은 높은 흡입압에서 펌핑 성능을 안정화 시킨다. 또한 안정적인 펌핑을 얻을 수 있다. 대기압 근처에서 계속된 펌핑 작동을 부수적인 장치들에 의해 FPM OIL SEAL, 오링, 오일 미스트 트랩에서 오일이 되돌아가는 구조.
(4) 수압 오일 역류 방지 구조.
정전이 되거나 펌프가 오랫동안 정지해 있을 때 흡입쪽에 새는 구멍이 없을 때 대기압으로 갈 때, 펌프 오일은 실린더 뒤쪽으로 가려고 하고 재가동하는데 어려움이 따른다. 이 펌프는 재가동시 오일 역류 방지와 오일이 실린더 뒤로 흐르 는 것을 최소화 또는 감소시키게 구성되어 있다.
(5) 다양한 오일 범위 구조.
이 펌프는 오일 레벨 표시범위가 다양하고 조작이 쉽다.
펌프는 오일 레벨선 안에서 운용할 수 있다.
(6) 경량화, 소형화
실린더와 오일 케이싱을 일체화 하여 동급의 피스톤 펌프에 비해 60% 이하이고 설치면적은 50%이하이다.
