확산펌프
- 오일 확산펌프
오일 확산펌프
수냉식확산펌프(DP4A,DP6A,DP8A) 상세정보
- - 배기량(60Hz) :
- - 도달진공도 :
수냉식확산펌프(DP4A,DP6A,DP8A)는 확산오일을 사용하여 일정진공도(0.05Torr)이하에서 가열하여 n단이상의 노즐을 통해 음속이하로 Body 외벽을 통해 분사함으로서 가스입자에게 운동에너지를 전달해 배기하는 방식으로서 소음이 전혀 없으며 고지공까지 도달하는데 이용하는 펌프로서는 가격이 비교적 저렴해 보편적으로 널리 이용되는 진공펌프입니다. 소형에는 공냉식이 가능하고, 반드시 1차펌프와 조합하여 사용하여야 합니다.
